磁控溅射真空抽不下去,刚开机械泵能抽到50Pa,后来慢慢变到100Pa,这可能会是什么原因造成?但是仔细检查了没有发现大漏的地方,而且开始为什么能抽的比较低后来反而越来越差了呢?放气的

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/01 23:12:29
磁控溅射真空抽不下去,刚开机械泵能抽到50Pa,后来慢慢变到100Pa,这可能会是什么原因造成?但是仔细检查了没有发现大漏的地方,而且开始为什么能抽的比较低后来反而越来越差了呢?放气的

磁控溅射真空抽不下去,刚开机械泵能抽到50Pa,后来慢慢变到100Pa,这可能会是什么原因造成?但是仔细检查了没有发现大漏的地方,而且开始为什么能抽的比较低后来反而越来越差了呢?放气的
磁控溅射真空抽不下去,刚开机械泵能抽到50Pa,后来慢慢变到100Pa,这可能会是什么原因造成?
但是仔细检查了没有发现大漏的地方,而且开始为什么能抽的比较低后来反而越来越差了呢?
放气的问题考虑到了,是在烘烤冷却之后抽的。
还会有什么可能呢?
机械泵油长时间没换会不会影响这么大?而且是突然这样的。

磁控溅射真空抽不下去,刚开机械泵能抽到50Pa,后来慢慢变到100Pa,这可能会是什么原因造成?但是仔细检查了没有发现大漏的地方,而且开始为什么能抽的比较低后来反而越来越差了呢?放气的
1、系统泄露;
2、真空泵换油
3、真空室热泄露
4、机械泵抽到50PA,也是很差的了,应该在10一下,
成都超迈机械提供咨询!希望对你有所帮助!

1 漏气
2 放气了,比如真空腔内壁吸附的气体脱离容器壁,这种情款多发生于加热时

检查一下机械泵和罗茨泵的轴封,有可能有漏气。
在抽气过程中如果没有温度的变化,而真空度会变化是很奇怪的。
还有一个问题就是,在加热时,某些部件会涨起来,反而不漏气,一旦温度降下来,部件的尺寸就会恢复,这时候反而漏气,要考虑进来。如果是此现象,请重点检查下加热器管密封等。...

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检查一下机械泵和罗茨泵的轴封,有可能有漏气。
在抽气过程中如果没有温度的变化,而真空度会变化是很奇怪的。
还有一个问题就是,在加热时,某些部件会涨起来,反而不漏气,一旦温度降下来,部件的尺寸就会恢复,这时候反而漏气,要考虑进来。如果是此现象,请重点检查下加热器管密封等。

收起

管道有漏气或者泵本身有密封不好的地方还有就是所抽设备有漏气现象.

磁控溅射真空抽不下去,刚开机械泵能抽到50Pa,后来慢慢变到100Pa,这可能会是什么原因造成?但是仔细检查了没有发现大漏的地方,而且开始为什么能抽的比较低后来反而越来越差了呢?放气的 磁控溅射真空抽不下去,抽到200Pa就抽不下去了,器件检查没有漏气, 真空磁控溅射技术是?真空磁控溅射技术概念 真空磁控溅射镀膜附着力差 双良溴化锂直燃机为什么真空抽不下去 镀膜机抽高真空抽不下去,不漏气,扩散泵刚换的油,是哪里的问题, 真空磁控溅射机镀锡工艺怎么镀呀 真空磁控溅射机镀金锡工艺怎么镀呀? 真空计问题我用的磁控溅射仪,真空度只能到达-4 ,可是昨天真空计显示了-5 ,怎么回事这是·~~急 磁控溅射的问题,靶电流加不上去有5个靶其中3个靶加不高电流,同样的进气量下剩余的两个靶可以加的很高真空度在0.5左右.这3个靶在到一定电流以后靶会出现一闪一闪的现象.电源有蜂鸣声, 手机能否在真空环境下开机? 真空泵不抽真空怎么办? 使用真空泵时,如果真空抽不下去,就在开泵的情况下,关掉抽气阀门,过会再打开,就可以抽下去,会这样吗我的泵返修过,极限真空不是很好,但也能抽到2-3帕左右,真空室应该也还可以,但每次抽到 真空磁控溅射ITO的最佳靶基距,硅靶中频反应溅射SIO2的最佳靶基距. 一定真空状态下,单位气体分子数和密度计算公式?不是理想气体!工作中感觉这个公式与常数e的指数函有关真空磁控溅射镀膜的实际的操作过程中,不同级别的真空度下,加入等量单位的气体,对 真空干燥箱为什么不可以加热后抽真空呢? 磁控溅射镀膜设备的工作原理?磁控溅射镀膜设备的真空度不够会有哪些影响?如何控制磁控溅射镀膜的厚度?此厚度与电流和电压的关系是什么? 格力变频空调抽真空只抽了3分钟,开机试制冷,效果很快,只试了2分钟左右.现在还能再抽真空吗?格力变频空调抽真空只抽了3分钟,开机试制冷,效果很快.只试了2分钟左右.现在还能再抽真空吗?